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一、概述

真空高温梯度 加热台 ，使用两片氮化硼绝缘加热片，对指定长条型金属样品两端分别进行加热，并使样品两端达到不同温度，同时加热回路与样品间具有一定绝缘性。另外包含一个加热测试真空室。

二、技术参数要求

可安装金属样品尺寸：14*6*1mm

加热台工作环境：真空环境，真空度好于1*10-4Pa

加热要求：中心6mm长度区域内形成温差，在该区域的两端分别安装热电偶进行测温，并能够分别进行温度控制：一端为700℃，另一端为400℃。

加热台外形：尺寸不大于100*100*100mm。金属样品正面无遮挡，不影响束流及红外测温。

加热台输入电流/电压要求：直流，电压不超过40V。

加热台底座带真空水冷台，水冷台尺寸不超过160*120*30mm。

绝缘要求：在达到上述要求温度时，加热回路对样品的漏电流小于1微安。

氮化硼绝缘加热片：电阻小于10欧，600℃以下漏电流小于10nA，*高工作温度1500℃，*大功率不小于200W，附带2个50mm长M2的Ta电极螺杆，以及4个M2的Ta螺母。

加热测试真空室：真空室腔体尺寸不小于300mm*200mm*130mm，壁厚不小于8mm。上盖板采用O圈密封，两侧具有CF100法兰接口及CF80法兰接口。CF80法兰可与CF80真空插板阀连接，CF100法兰盖板焊接2个水冷管路接口。真空室侧壁上具有1个高真空BNC连接器及1个14芯真空密封航空插头。真空室漏率好于1*10-9Pa*m3/s。

供货方依据以上技术参数进行设计及加工制作。